记者3月10日获悉，合肥科学岛团队研制出微型环境级传感器，可实现对ppb级（十亿分之一）臭氧（O3)污染监测。

据介绍，近地面臭氧污染仍是当前大气监测的重点，开发微型环境级（ppb）O3传感器备受关注。传统金属氧化物半导体（MOS）臭氧传感器面临着外部加热易分解臭氧、湿度干扰大、晶圆级量产一致性差等问题。

针对这些问题，中国科学院合肥物质院安光所孟钢研究员团队与山西大学卢华东教授、安徽大学郭庆川教授团队开展合作，以常规氧化铟锡（ITO）玻璃为基体，采用飞秒激光刻蚀与等离子体刻蚀工艺，设计了基于图形化ITO膜的臭氧（O3）传感器。该传感器凭借独特的自加热设计和等离子体表面改性技术，实现了对ppb级（十亿分之一）O3的精准、快速、稳定监测。近日，相关成果发表在Nano Letters（美国化学学会出版的纳米科技领域顶级期刊，最新影响因子9.1）上。

该传感器制备工艺简单、易实现晶圆级批量制备，传感器性能一致性高，满足室内外O3大气污染网格化精细监测需求。

（安徽商报 元新闻记者 郜征 通讯员 黄杏洁）